供应包头单晶炉氩气净化机氩气净化装置
¥98000.00
供应苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化器
¥22000.00
供应ASM混合配比器混合配气装置
¥4500.00
供应苏州晟宇氩气净化机光谱仪氩气净化机
¥28000.00
供应氮氢混合配气装置静态配气装置
¥43000.00
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单晶硅氩气净化机氩气净化装置氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用，氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求，赢得客户的满意和市场的需求。
由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，这样稳定的氩气对生产晶体质量是有***的。
全自动氩气纯化装置概述
氩气纯化装置是针对需要使用***纯度氩气的客户而设计的。全自动氩气纯化装置，具有触摸面板一键式启动、停止工作，操作简单明了。装置工作设有两组工作组，交替工作，循环使用。其中一组工作，另一组再生冷却备用。工作组工作无需加热，为常温工作。对应面板触摸屏可查看设备组成硬件、操作简介、观察、监视工作组工作状态、再生组再生状态、工作组工作时间、切换时间、设备总工作时间、再生加氢及加热时间和报警信息状态。
自动氩气纯化装置优点
选材优良，氩气流经阀门，管道选用316材质,***解决气源重复污染，纯气出口管路采用BA级，***纯气的洁净如一。
严格的质量控制，在制作过程中，邀请需方作全过程跟踪督察。
进出口微氧分析仪在线监测，直观显示原料气体氧含量及纯化后的氧气含量。
纯气最终过滤系统一用一备，更具人性化，***解决无故障运行顾虑。
加氢还原系统采用质量流量计控制，真正做到定时定量全自动运行。
一键式启动设备，工作状态实时显示，操作简单、安全、明了。
自动化氩气纯化装置照片
( 01 ) ( 02 )
一 、设备工作原理
装置工作设有两组工作组，填装的净化材料属于可再生重复利用材料。
原料液氩经汽化器汽化后由设备工作进口进入设备一组工作组，经脱氧剂、分子筛及精密高效过滤器（0.1µm）后送出至工作点使用。
一组工作组负荷饱和后，切换到另一组工作组工作，***为使用点连续的提供高纯氩气。同时一组工作组开始再生加热加氢反吹洗（本系统加氢是为了还原脱氧剂，加氢结束后设备自动吹洗并直接放空），为等待下一次切换使用做好准备。
装置工作为常温工作，压降小、脱氧程度深、碳水含量低，均可达到并高于GB高纯氩气标准。
二 、主要技术条件
1 、原料气纯度 ≥99.***
2 、原料气压力 ≤0.8Mpa
3、 纯化后符合《GBT4842-2006氩标准》中高纯氩的要求
气量 ≥220Nm3/h
压力 ≤0.75Mpa
总纯度 ≥99.9***
其中 O2 ≤0.2ppm
CO+CO2 ＜0.3pp
CH4 ＜0.2 ppm
H2 ＜0.5ppm
露点 ≤-70℃
尘埃粒子数 ≤5个/升
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