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两个633nm的滤光器可消除背景光，减少噪声影响。调节方法如果激光束不能垂直入射到试样表面，将引起严重的测量误差。这种激光束的误准直是难以消除的，除非光栅到激光器的反射零级光束与入射光束重合。这种光束的重合必须沿垂直方向，确保1级衍射光束对称分布。系统调节的关键是使入射激光束垂直于试样表面，必须仔细检查光栅是否牢固地粘附于试样表面，试样是否完全。此外还可调节位敏传感器使衍射1级光束正好位于两个位敏传感器平面的中心。
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