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PFEIFFER-BALZERS: TCP-040, TCP-120, TCP-121, TCP-300, TCP-310, TCP-380,
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故障:分子涡轮泵出现异响仪器自动停机,经检测是分子涡轮泵坏了(如果分子泵出现异响不要再开机,以免加重对泵的损伤)。可能原因是:只有一个液氮罐供应氮气,学生换气时经常要开、关机,频繁开关机对分子涡轮泵损伤较大。也可能运气不好,泵的质量不太好,但据工程师所说正常泵的寿命也就3-5年,一般用个5年也不错了。我们实际也用了差不多5年了。