SFM5400-2slm多气体配置质量流量计Sensirion盛思锐

¥1.2万 10 - 99
¥1万 ≥100

参数

质量流量产品特性
Sensirion盛思锐品牌
SFM5400-2slm型号

发货地广东深圳 15天内发货供货总量1000PCS

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SFM5400-5slm数字信号质量流量计Sensirion盛思锐 ¥10000.00

SFM5400-10slm无老化效应质量流量计Sensirion盛思锐 ¥10000.00

SFC5300-50slm重复性读数0.2%s.p质量流量控制器Sensirion盛思锐 ¥10000.00

SFM5300-1slm热分析仪器0.02%FS质量流量控制器Sensirion盛思锐 ¥10000.00

SFM5300-5slm薄膜沉积D-Sub9Pin质量流量控制器Sensirion盛思锐 ¥10000.00

SFM5300-2slm热处理14-26VDC质量流量控制器Sensirion ¥10000.00

产品详情

SFM5400-2slm多气体配置质量流量计Sensirion盛思锐

质量流量控制器 SFC5400

针对多种应用的多功能控制器

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置，其外壳由金属制成。此外，流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成***校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。

SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样，依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路，可***优异的性能。配合优质材料，SFC5400可实现持久稳定、快速和高度***的流量控制。

SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可***组合在一起。

性能参数

超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）
***流量测量时的高精度（＜ 1sccm）
***长期稳定性和可靠性
无老化效应
宽动态范围（量程比1000:1）
多气体配置
高配置
源于CMOSens®技术的极高性价比
数字和模拟接口
灵活机械连接选项：向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。

应用

分析仪器（如气相色谱、质谱、热分析）
医疗器械（如呼吸机、麻醉机）
工业过程自动化（如涂覆、热处理）
半导体行业（如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）

气体质量流量控制器

Senisirion是您的可靠合作伙伴，凭借我们前瞻式及以顾客为中心的供应链管理，交付周期得以保障。

多功能SFC5400适用于工业和医疗相关应用，多种配置满足您的确切需求。

SFC5500 系列现提供配有多气体校准的质量流量控制器。

Sensirion气体质量流量控制器在宽动态范围快速而***控制气体流量。得益于创新的Sensirion^®技术，质量流量控制器的核心是热式微传感器（MEMS），芯片上集成了完整的信号处理电路。流量测量采用热式原理，高效控制由模拟控制电路实现。这种独特的集成技术以有吸引力的成本实现***的性能和可靠性。

Sensirion 氣體質量流量控制器概覽

	SFC5400		SFM5400		SFC5300	SFM5300
Flow range	50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5,10 slm	20, 50, 100 slm	50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5,10 slm	20, 50, 100 slm	50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2,5 slm
Repeatability, % of reading	0.1% s.p.	0.2% s.p.	0.1% s.p.	0.2% s.p.	0.2% s.p.
Repeatability, % of full scale	0.01% FS	0.02% FS	0.01% FS	0.02% FS	0.02% FS
Accuracy, % of reading	0.8% s.p.	1% s.p.	0.8% s.p.	1% s.p.	2% s.p.
Accuracy, % of full scale	0.08% FS	0.1% FS	0.08% FS	0.1% FS	0.2% FS
External leak rate	9 x 10^-9 mbar l/s (He)	10 x 10^-6 mbar l/s (He)	9 x 10^-9 mbar l/s (He)	10 x 10^-6 mbar l/s (He)	1 x 10^-6 mbar l/s (He)
Leak rate through closed valve	1 x 10^-6 mbar l/s (He)	1 x 10^-6 mbar l/s (He)	not applicable for SFM	not applicable for SFM	1 x 10^-6 mbar l/s (He)	not applicable for SFM flow meter version
Pressure drop at max full scale	<2 bar	<3 bar	<0.1 bar	<1 bar	<2 bar	<0.1 bar
Settling time for OEM	50 ms		not applicable for SFM flow meter version		50 ms	not applicable for SFM flow meter version
Settling time, typical	100 ms		not applicable for SFM flow meter version		100 ms	not applicable for SFM flow meter version
Control range	1000:1 (digital interface)		not applicable for SFM flow meter version		1000:1	not applicable for SFM flow meter version
Communication interface	digital(RS485, IO-Link, DeviceNet) and analog (0 to 5 VDC, 0 tp 10 VDC or 4 to 20 mA)				digital (RS485 & IO-Link)
Real gas calibration	Air/N₂, H₂, O₂, He, Ar, CO₂
Gas conversion	SF₆, CF₄, C₄F₈, NH₃, N₂O, CO, CH₄, CH₃F, Xe, Ne, Kr, and other gases on request
Nominal power supply	14.0 to 26.0 VDC
Electric connector	D-Sub, 9 Pin
Mounting, gas connector	Downmount, Swagelok, VCR, VCO, Legris, UNF Thread				Downmount
Max working pressure	10 bar
Operation temperature	0 to 50 °C/32 to 122 °F
Gas type switchable by software	on request