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微小气体质量流量计 流量传感器 FS4001 氮气氧气空气流量计、MEMS

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  • FS4001-500mL

  • FS4001-30mL

  • FS4001-200ml

  • FS4001-1L

  • FS4001-50mL

  • FS4001-100mL

  • 成都维克安科技有限公司吴经理15882015767欢迎来电来函详询型号及报价。

  • FS4001高精度流量传感器:

  •  FS4001系列气体质量传感器






    产品简介:

    FS4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。

    产品特点:  - 传感器灵敏度高,有极小的始动流量   - 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,***了传   - 感器的高精度计量   - 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高   - 传感器的零点稳定度高   - 全量程高稳定性   - 全量程高***度和优良的重复性   - 低功耗   - 低压损   - 响应时间快主要参数:




    性能参数FS4001单位
    通 径1.01.8mm
    流量30, 100, 200500, 1000SCCM
    量程比≥100:1
    精 度±(1.5+0.2FS)%
    重复性0.25%读数
    零点输出飘移±30mV
    输出飘移±0.12%/oC
    响应时间4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
    工作电源8~18Vdc,50mA
    输出方式线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
    流量压损350300pa
    工作压力0.5MPa
    工作温度-10 ~ +55oC
    存储温度-20 ~ +65oC
    工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露)
    机械接口可拆式软管接头
    校准方式空气(或其他气体),20oC,101.325kPa
    重量15g

     

     

     

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