MC-1900L 英国WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器
MC-1900L 气体质量流量控制器
规格
MC-1900L
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting
接头
1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
Seals 密封
橡胶 Viton
Response Time 响应时间
≤1Sec(超过满量程10%)
Accuracy
***性
25%-***:≤±1%S.P (满量程25%到***)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的2-***
Max Operating Pressure 高操作压力
70psi
Proof Pressure 承受压力
大值140psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / RS485
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA
Command Signal 输入模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-***
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-***
Power Consumption 功耗
4.5W
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE
Weight 重量
0.9kg
MC-1900L 英国WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器
Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,是多种气体配套产品 的全球化公司,拥有自己的研发团队,掌握全球***的核心技术,专注于全球广泛的高科技领 域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同***工艺 。Warwickr的产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球 服务支持方案。为了将我们***的气体应用技术及方案带给更***生产应用市场,Warwick始终 致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。