实验室气体混合配比器系统

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参数

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产品详情

质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),使用方便,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接

质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),其使用方便,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接