日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“***的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作：
瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定
上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体，部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度***温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485，Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
100mA
管路连接
1/4卡套，20SLM以内
3/8卡套，50-200SLM
可选
针阀
电气连接
DB9针脚定义：
针脚
定义
1针脚
电源 +24V
2针脚
电源 COM
3针脚
报警1
4针脚
报警2
5针脚
报警COM
6针脚
模拟输出
7针脚
485+
8针脚
485-
9针脚
模拟、通讯COM
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，***气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步比如质量流量计安装在泵附近，泵在启动时有可能产生瞬时振动，这种振动干扰就会促使流量计精度迅速下降；另外，质量流量计安装时的支撑件若是绑定在一起，那么有可能会因为共振干扰而导致精度下降（2）超声波流量计可以测水、气或油各种介质PCD系列双阀绝压和表压压力控制器从传感器获取模拟信号，并使用比例阀提供闭环控制而半导体行业中主要的制造设备、制造工序单晶炉则就是由气体质量流量计/气体质量流量控制器等多种设备共同组成的，其中主要由提拉头：包含安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成；副室：副室筒包含以及上下法兰组成；炉盖：包含副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成；炉筒：包括取光孔等；下炉筒：主要包括抽真空管道；底座机架：主要包含全铸铁机架和底座；坩埚下传动装置：主要包含有磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成；分水器已经水路布置主要包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等；管道布置主要包括特殊气体质量流量计/特殊气体质量流量控制器、多根以上的柔性管、不锈钢管、多根压力探测器、高密封性卡套等部件；真空泵以及真空除尘装置主要包含油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等；电源以及电控柜主要包含电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线等虽然大多数质量流量控制器只能处理一个参数，但Alicat质量流量控制器可以同时显示压力、质量流量、体积流量和温度有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL，有毒有害气体等特殊气体)；有很宽的流量范围，产品小流量范围可达0～5sccm，大流量范围可达0～200slm质量流量控制器还具有高精度（0.1%~0.2%），质量流量控制器应用范围广(可测量各种流体、各种浆液、悬浮液、高粘度流体，固液两相、气液两相、固气液三相灯），质量流量控制器安装要求低，对仪表的前后直管段要求不高、管经粗细要求也不高，都可以通过定制法兰来实现转换，质量流量控制器还具有运行可靠、稳定，维修率低等特点据不完全统计物美价廉的质量流量控制器除了应用于石油化业、冶金行业以及制药行业外，还被广泛应用于半导体制造业、生物行业及船舶加工业等
气体质量流量控制器可以通过气流流过毛细管所形成的上下游温差来测取气体质量流量，其***的测量能力促使广受好评的气体质量流量控制器逐步取代旧时的气体质量流量测量方法，现在就气体质量流量控制器的安装环镜需满足哪些条件作简要阐述：1.安装环境周边无振动气体质量流量控制器虽然不易受气体压力与环境温度变化所影响，但是对于周边振动环境的敏感度较高仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差质量流量控制器/质量流量计在实际应用中的优势作用一、质量流量的测量和控制不会因为温度或压力的波动而失准对于多数流量测控系统或者设备而言，很难避免的就是由于系统或管道的压力波动及环境和介质的温度变化，从而对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器控制器，这种误差则一般几乎不存在为确保每个呼吸机在现场使用时按设置规范运行，校准后的呼吸机必须经过测试过程，以确保它们的设定符合标准质量流量控制器采用金属密封的材料，原则上质量流量控制器可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体使用的气体通常是N2或CO2质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？?(1)?流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准三、可靠的技术支持当然一个产品想要走得更远是离不开厂家提供的技术支持，只有厂家在流量计制作技术上给与足够的支持，气体质量流量计在未来的发展中才有可能走得***久，而流量计厂家具有比较强大的实力也可以给消费者提供较好的售后服务质量流量计因为组态灵活且功能强大，故而被尊称为“***流量仪表”
