日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“***的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm),并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作:
瞬间/累计流量显示;气体种类切换;CF任意设定
上下限警告设定;流量单位变更;可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体,部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度***温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485,Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
100mA
管路连接
1/4卡套,20SLM以内
3/8卡套,50-200SLM
可选
针阀
电气连接
DB9针脚定义:
针脚
定义
1针脚
电源 +24V
2针脚
电源 COM
3针脚
报警1
4针脚
报警2
5针脚
报警COM
6针脚
模拟输出
7针脚
485+
8针脚
485-
9针脚
模拟、通讯COM
使用注意
一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,***气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。
三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。
四:耐压1.0Mpa,进口压力5公斤。
五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。
2.密封漏气率气体质量流量控制器出厂前还需满足密封漏气率要求那么为人所称道的气体质量流量计这么好用的关键原因是什么?1、技术原理***了解相关技术领域的朋友一定知道气体质量流量计设备在技术原理类型等方面十分丰富,尤其是当前技术环境整体进步的情况下气体质量流量计从构造设计到核心功能原理都十分靠谱不同类型的气体用来沉积一个新的玻璃层质量流量计/质量流量控制器在半导体行业中应用(三):半导体行业中最常用的化学气相沉积法(CVD)是指使用化学气体或蒸汽或多种特殊混合气体在晶片等基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,而各种气体的进气量则需要气体质量流量计/质量流量控制器来的测量和控制一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器在燃烧室上游放置一个压力控制器,采用速动比例控制阀,可以提供更快的响应时间和更好的稳定性这些载体和毛细管流速对气相色谱仪的正确性能至关重要此次标准考核是自2006年以来,***科工局***启动新建***计量标准工作,对面向整个***科技工业开展量值传递工作,研究解决型号发展需要的计量测试技术难题,承担型号研制、生产、试验等过程中的计量保障任务,跟踪产品科研、生产、使用中的关键计量测试技术具有重要意义PCD系列双阀绝压和表压压力控制可以为外部真空仪表提供电源,兼容所有的测量技术,包括离子、皮拉尼和冷阴极
质量流量计所蕴含的传感知识以及测量知识是非常广的,这种MFM可对气体质量流量进行精密测量这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等因为它测量精度高且不易受压力变化、温度变化的稳定测试功能越来越受市场肯定,故其应用领域也将随之不断扩展在这些领域,精度、便捷、快速都是关键特性压力控制器也用于控制烘焙咖啡豆的燃烧器?3、定量控制流量经济因素是指购置费、安装费、维护费、校验费及备品备件等,其又流量计的性能、可靠性、寿命等影响质量流量控制器的工作压差范围概念质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过质量流量控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差5数字靶式流量计靶式流量计于20世纪60年代开始应用于工业流量测量,主要用于解决高粘度、低雷诺数流体的流量测量,先后经历了气动表和电动表两大发展阶段