富士金气体质量流量计
具有高精度、快速响应、价格低廉、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、阳能电池等行业,还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求
规格参数
1. 多气体多量程(MG/MR)功能
2. 可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更,从10sccm至50slm
3. 准确度高:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度***范围15-35℃)
4. 再现性:±0.2% F.S
5. 强耐腐蚀性
6. 输入输出信号:模拟(0-5VDC)/RS-485、Device Net
7. 全量程范围、响应速度快,≤1sec
8. 密封材质:金属密封/橡胶密封
9. 阀门种类:NO常开NC常闭型
10. 动作压力:400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐压:1MPa
12. 使用温度:5-50℃
13. 金属密封外部泄漏率:1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡胶密封外部泄漏率:1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材质:SS316L不锈钢
16. 接口方式:1/4vcr金属面密封连接,卡套连接
规范]
●型号:fujiken流量计 FCST1005LC-4F2-F500-N2
●式样:流量FS500SCCM(F900接缝)
校准气体∶ N2 气体
-流量范围∶ 2 ~ 100 %fs
-流速精度: ± 1 %fs (精度***范围 15 到 35 ° C)
-压力∶ 1 MPa (G)
-电源∶ 直流 ± 15 V
-管接头∶ 1 / 4'f900 全
FCST1005LC-4F2-F10-N2
FCST1005LC-4F2-F100-N2
FCST1030LC-4F2-F10L-N2
FCST1005LC-4F2-F1L-N2
FCST1030LC-4F2-F20L-N2
FCST1005LC-4F2-F500-N2
FCST1050LC-4F2-F50L-N2
FCS-T2000-PSD-1A
FCST1030LC-4F2-F20L-N2
FCST1005LC-4F2-F500-N2
FCST1050LC-4F2-F50L-N2
FCS-T2000-PSD-1A
FCSTM1030L-4J2-F6L-N2
FCST1030ZFC-4WS2-F2L-SF6-R6
FCST1030ZFC-4WS2-F3L-O2-R6
FCST1005ZFC-4WS2-F2L-HE-R5
FCST1005MZFC-4WS2-F2L-CL2-R5-EP
FCST1030ZFC-4WS2-F2L-CF4-R6
FCST1030ZFC-4WS2-F1L-C2HF5-R6
FCST1005ZFC-4WS2-F500-H2-R4
FCST1005ZFC-4WS2-F1L-AR-R4