激光焊热式质量流量计艾利卡特MW系列质量流量计高清图
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、准确地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的性能:
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器,其型号众多,可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。若管线压力较高(145-305 psig),请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试,也能缩短50 scccm或***流速条件下的气动响应时间。若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件,MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部,使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。对于真用应用,MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列,专门设计用于OEM应用和大量订单环境。为满足生物反应器市场的需求,Alicat发布了世界上***专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。