氮化炉设备高压质量流量控制器艾利卡特MC系列气体质量流量计
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艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、准确地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的性能：
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或***流速条件下的气动响应时间。若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。对于真用应用，MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，专门设计用于OEM应用和大量订单环境。为满足生物反应器市场的需求，Alicat发布了世界上***专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。
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