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气体流量传感器/气体流量计 型号:MG12-FS1015CL 库号:M315271

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气体流量传感器/气体流量计  型号:MG12-FS1015CL

库号:M315271   

FS1015CL系列气体质量流量传感器是为各类用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围zui大到150SLPM, 15mm连接方式。

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