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流量控制器
质量流量控制器，即 Mass Flow Controller(缩写为MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。当气体流经加热表面时，气体分子产生热传递，与加热表面产生接触的气体分子越多，热传递现象越明显。通过对加热表面热量变化的测量，即可以反应出某种气体的质量流量变化。这种测量方法不受气压与环境温度的影响，因为它所测量的本质是气体分子的数量。
热式气体质量流量传感器是气体质量流量控制器中一个重要的主要部件，对气体质量流量控制器的性能指标，如零漂，准确度，线性，气体流量计，重复度，响应时间等重要指标参数有直接影响.要使气体质量流量控制器的性能指标得到明显改善，首先就要提升热式气体质量流量传感器的性能.然而，热式气体质量流量传感器的性能与其本身的结构参数设计是密切相关的。
质量流量控制器的使用范围和控制范围有多广泛？
关于气体质量流量计的标准状态，主要是指在标准状况（STP）0℃( 273K)、1.01×10^5Pa下，1摩尔任何理想气体所占的体积都约为22.4升，这个体积叫做该气体的摩尔体积，单位是L/ mol（升/摩尔） ，即标准状况下(STP)气体摩尔体积为 22．4L/mol。在25℃，1.01×10^5Pa时气体摩尔的体积约24.5L/mol。
采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
热式气体质量流量控制器和热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，气体流量计报价，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
有哪些通讯方式的流量控制器？
目前我公司的热式气体质量流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。产品耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。热式气体质量流量控制器/流量计的通讯方式常分为：模拟式和数字式两种。智能仪表随着80年代初单片机技术的成熟而发展起来，当初是数据模拟信号输出简单过程量，后来仪表接口是RS232接口，这种接口可以实现点对点的通信方式，但这种方式不能实现联网功能，随后出现的RS485解决了这个问题。
国内使用广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，气体流量计厂家，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，气体流量计公司，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
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