质量流量控制器(MFC)P110 系列 高测量精度极短响应时间
¥17200.00
质量流量控制器(MFC)V100 系列 极高的控流精度 实时流量校准
¥17200.00
E60系列MFC在气体流量控制领域以其***性能而备受赞誉。其中,***的重复性是其特点之一。无论是在连 续运行模式中,还是在间歇操作模式下,E60系列MFC都能展现出稳定而可靠的性能表现。这意味着,即使在 长时间的使用过程中,E60系列MFC的流量控制精度也能保持一致,从而为用户提供了更为精准和可靠的气体流 量控制解决方案。
控制范围(实际气体) 全量程2%-***
测量精度 ±0.25%F.S.:(2%-25%F.S.)
±1.0%S.P.(25%-***F.S.)
流量传感技术 毛细管热式
工作温度带域 覆盖5℃-120℃
可对所有半导体特气进行应用测试