ESMFM-650 皂膜气体流量标准装置
ESMFM-610 皂膜气体流量标准装置,采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量,显示直观、操控方便、数据准确、测量范围大并可保存多达10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器(MFC),为测量提供高精度、高稳定性的气体输出,使测量更加精度、便捷。
l 多通道测量,可根据不同的测量量程选择适合的测量通道,大大提高气体流量的测量范围及测量精度,测量通道切换简便。
l 采样准确:采用高速、高灵敏度红外传感器采样,高运算能力芯片控制计时,使采样时间准确,从而避免因人工读数造成的误差,大大提高仪器的整机精度
l 实时温度、压力测量及转换:高精度的温度及压力传感器,实时、准确的对待测气体进行温度和压力的测量,将测量的工况流量同步计算转换成需要的标况流量值 。
l 智能处理及控制:自动识别测量通道,各通道独立显示标况流量值,标况温度可选;自动统计处理及记录测量数据(平均值,RSD)
l 内置 4 路MFC气体质量流量控制器,为高精度的气体流量测量控制稳定的气流,使测量更精度、便捷。
l 大屏幕显示,操作简洁便捷。
主要性能及参数
l 测量流量范围:
通道一:0.05~30 mL/min
通道二:20~1000 mL/min
通道三:600~6000mL/min
l 测量流量精度等级:0.5 级
l 4路质量流量控制器范围及精度:
气路 1:量程50sccm,精度:0.01sccm
气路 2:量程300sccm,精度:0.1sccm
气路 3:量程1000sccm,精度:0.1sccm
气路 4:量程6000sccm,精度:1sccm
l 环境温度:5~45℃
l 相对湿度:85%
l 供电电源:220VAC
l 适用环境:非防爆场所
应用场景
Ø 气体采样器流量校正
Ø 烟道监测仪器流量校正
Ø 实验室分析仪器载气流量校正
Ø 测试仪器气体流量校正
Ø 气体流量测量计校正
Ø 工件泄漏率检测