气体质量流量计/控制器

介质要求：腐蚀性、洁净、干燥的气体 介质种类：可80多种气体，请参考背面 量 程 从：300 - 3000 SLPM（详情请咨询） 测量和控制范围 2~*** 显示方式： 显示质量流量 精 度 ：±1 % 满量程 重复性： ± 0.2 % 满量程 零点漂移 & 满量程漂移 0.05 % 满量程 / ℃ / Atm 响应时间： 优于 4s 预热时间： ＜ 15min 标定工况： 0 ℃ &101325Pa（其它标况可选） 工作温度： 5 ～ 55 ℃（可选高温选项至 -20 ～ 80 ℃） 工作湿度： 0 ~ 95 %，无冷凝 工作压力：3 MPaG ***操作压力： 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 400 KPaA 以上使 用； 其他真空压力建议做特殊标定 满量程压损： 参考背面详细压损表 数字输入 / 输出信号：RS232\RS485\MODBUS协议 模拟输入 / 输出信号： 0-5 VDC、4-20 mA 模拟信号精度：在基础误差上额外增加 ±0.1% 满量程的误差 供电电压： 12 - 30 VDC （如选 4-20 mA 输出，须为 15 - 30 VDC ） 供电电流： 250 mA，1 A，2 A（详情咨询） 电气接口：DB9 泄漏率（外漏）：泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He 材质: SS316不锈钢 过程连接:标准为G1/2 内螺纹 安装方式:对位置无要求 防护等级: IP40 认 证 *** 9001