美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上***的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品***用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点:***、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
-压力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦气
-NIST系统标定可追踪的证明
-可倾斜的LCD读表
-0-5Vdc或4-20mA信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
-0到100%比例显示
-可配备流量计算机
精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。
重复性:±0.5%满量程
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒
温度系数:0.15%满量程/℃
压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar)
气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃)
输出信号:0-5Vdc,***小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出:+12Vdc;200Ω。+24Vdc可选
时间恒量:800ms