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高纯度1,2 - 二氯六氟环丁烷(356-18-3),工业精密清洗剂及特种低温冷媒 / 溶剂

参数
  • 含氟产品产品特性
  • 1,2 - 二氯六氟环丁烷产品名称
  • 356-18-3CAS
北京 大兴区 2天内发货 100千克
北京嘉世旺科技有限公司 8年
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产品详情

产品介绍:

1,2 - 二氯六氟环丁烷

CAS 号:356-18-3

分子式:C₄Cl₂F₆

分子量:232.94

用途:

  1. 半导体工业

    1. 用作等离子体蚀刻气体,用于硅、二氧化硅、氮化硅的干法刻蚀

    2. 高选择性、各向异性好,常用于高深宽比结构(如 TSV)

  2. 制冷与发泡

    1. 早期用作制冷剂(类似 CFC-114)

    2. 因ODP(臭氧消耗潜能值)>0,已被《蒙特利尔议定书》限制

  3. 特殊溶剂

    1. 电子清洗、精密仪器清洗

    2. 含氟聚合物溶剂、传热流体




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