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TMAH显影液在线浓度仪

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上海京度电子科技有限公司 4年
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四甲基氢氧化铵(TMAH),在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂,同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展,PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影,直接影响着线路品质及阻焊的品质,显影的品质要求不能有显影不净,不能有显影过度,不能有掉线和绿油脱落等,显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。

 

描述 无色透明溶液 分子式 (CH3)4NOH 分子量 91.15 形态: 液体 沸点 oC: 100.0 凝固点oC: <-25.0 25="" 60="" cst="" 2.8="" 1.022="">200 pH: >13

 

根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%,需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量,已达到***配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度,测量过程大概需要20分钟时间,该方式不具备实时性,过程管道的浓度变化无法及时监测到,导致调控滞后。为了提高生产量,显影液的配对效率需要提高,缩短配比的时间,需要在线实时对TMAH的浓度进行监控,完善工艺控制要求。采用临界角全反射原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求,且测量精度高。

 

MPRE-Scan 2.38TMAH在线浓度仪是根据临界角测量原理设计的一种新型连续在线监测仪,由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触,且没有极化效应,故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中,连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度,拥有一般浓度仪表***的优点。

 

2.38 TMAH在线浓度仪技术优势

超大TFT-LCD显示屏带超亮背光便于阅读。

多种信号输出4-20mA标准信号、RS485通讯接口(可选);

两组两级单稳型继电器可以控制外围(如风机、声光报警器)动作

多级校准——高精度,高稳定性,高灵敏度;

友好界面--中英文菜单可选,方便操作;

一键恢复功能,使您无须担心操作失误。

国际***传感器;

 

具有自动温度补偿、零点校正系统,自诊断功能;

多层腐蚀工艺处理,适用于各种工况;

两级声光报警,可自行设置高低报警点

多级密码保护功能,防止用户误操作。


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