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电子级氢氟酸浓度分析仪

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上海京度电子科技有限公司 4年
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电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,随着我国微电子工业的高速发展,电子级氟化氢需求不断提高。电子级氢氟酸广泛应用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域中,其中集成电路领域需求占比,占据市场总需求的45%以上;其次是太阳能光伏领域,占比为25%;排在第三的为液晶显示器领域。占比为16%。

在氢氟酸产业中,工业级氢氟酸产能基本饱和,未来发展机遇相对较小。而电子级氢氟酸下游产业处于快速发展阶段,且由于生产门槛较高,国内产能供不应求,行业未来发展前景较好,因此吸引较多企业投建产能。

将无水氢氟酸经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2μm以下超滤工序,***在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。

应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。


E-Scan系列电子级氢氟酸在线分析仪采用临界角检测原理,检测不受物料的颜色,浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。采用***的分体式体式,全屏蔽抗干扰设计,光电信号直接转换处理。摒弃一体式不耐振动和高温的影响的缺点,保障了在线测量的精度及延长仪器使用寿命。内置光纤光路传导系统,拥有***的抗震性能和高稳定性、内置温度传感器和干燥剂有效监测糖度仪的运行状态。


E-Scan系列电子级氢氟酸在线分析仪可以安装在不同管径的管道或者罐体容器壁上,进行浓度监测和控制,可以直接显示质量***(Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用户自定义的单位,现场显示并可以模拟信号(RS232)远传至电脑进行即时数据存储、打印、追溯等功能;通过4-20ma信号远传至plc/dcs /变频器进行监控或控制。


E-Scan系列电子级氢氟酸在线分析仪拥有以下特征: 316ss材质的传感器使其满足化工、半导体行业的要求并且耐温高达150℃; 免维护、无耗材、无漂移、自诊断功能,智能报警信号输出功能; 防护等级:NEMA4X(IP67); 自动温度补偿(软件拥有丰富的产品线性数据库和温度补偿数据库); 多组4-20maA模拟信号及数字信号输出(隔离,非隔离可选); 3648高分辨率的CCD; 多种报警信息输出显示(高低/高高/低低/偏差); 可循环的干燥剂,无耗材,免维护; 光源为589nmled灯,寿命长达100000小时; 安装适配器标准:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon; 高精度,高品质“美国制造”


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