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参数
- 否是否进口
- 是加工定制
- 鹏城半导体品牌
广东 深圳
不限
999台
产品详情
研发设计制造了热丝
工件尺寸
圆形平面工作的尺寸：φ650mm。
矩形工作尺寸的宽度1000mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1500mm）。
配置水冷样品台。
热丝电源功率
可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）
设备安全性
-电力系统的检测与保护
-设置真空检测与报警保护功能
-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护
-设置水压检测与报警保护装置
-设置水流检测报警装置
设备构成
真空室构成
双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。
热丝
热丝材料：钽丝、或钨丝
热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调
热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰的问题）
样品台
可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。
工作气路（CVD）
工作气路根据用户工艺要求配置：
下面气体配置是某一用户的配置案例。
H2(5000sccm，浓度*100*%)
CH4(200sccm，浓度*100*%)
B2H6（50sccm，H2浓度99*%）
Ar(1000sccm，浓度00%)
真空获得及测量系统
控制系统及软件
1/3/6/3/2/7/5/0/0/1/7
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产品参数
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- 鹏城半导体
- PC-010
- 见说明书
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