在各种传统类型传感器发展的基础上,目前传感器技术新的发展方向主要包括微型化、复合化、数据化等几个方面。其中微加工技术(MEMS)的发展已接近成熟,国际上已开始用于大批量传感器产品的制造,国内也有数十家企业和研究单位在从事微加工技术在传感器制造方面的应用与研究工作。复合化是一个传感器可以包含多个功能,它可能是通过微加工技术在一个芯片上构建多个传感模块来实现的,也可能是通过将多个或多种传感器按一定的方式组合封装而成的。
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