产品作用:
AMAT 0190-B8982 电源控制器(SCR 功率控制器)
AMAT 0190-B8982 是应用材料(AMAT)半导体设备专用的SCR 电源控制器,多为 Control Concepts 3096 系列定制版,用于精密加热 / 功率控制,常见于 PVD、刻蚀、扩散等工艺平台。
核心参数
型号对应:AMAT 0190-B8982(原厂编号),底层多为 Control Concepts 3096-2002A。
控制方式:相位角 / 过零触发,SCR 调压调功。
输入电压:三相 200–480VAC,50/60Hz。
额定电流:30A(持续),适配 10–15kW 加热负载。
控制精度:±0.5% FS,支持 4–20mA/0–10V 模拟量控制。
通讯接口:RS-485(Modbus RTU),支持远程监控与设定。
反馈模式:电压 / 电流 / 功率闭环,稳功率输出抗波动。
散热方式:强制风冷,内置温控风扇与过热保护。
保护功能:过流、过压、过热、缺相、负载短路,故障自锁报警。
工作温度:0℃–+55℃,适配半导体洁净室环境。
结构规格:19 英寸 3U 机架式,标准机柜安装。
负载适配:卤素灯、石英灯、电阻加热器、红外加热管。
工艺适配:AMAT P5000、Endura、Producer 等平台的加热 / ESC 电源控制。
环保合规:RoHS 无铅,符合 SEMI S2 安全标准。
可靠性:出厂 72 小时老化测试,MTBF > 10 万小时。