AMAT 0190-27355低温泵智能控制器卡件模块全新

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
型号：CTI‑Cryogenics On‑Board P300
AMAT 料号：0190‑27355
适配平台：AMAT Endura 300mm PVD 系统
制冷方式：闭循环 G‑M 制冷（氦气）
冷头温度：一级≈50K，二级≈4.2K（‑268.95℃）
抽气介质：水汽、氮气、氧气、氩气、烃类；对 H₂/He 靠活性炭吸附
极限真空：≤1×10⁻⁸ Pa（空载）
抽速（典型）：N₂≈3000 L/s，H₂≈1200 L/s
压缩机型号：CTI 8113192G001（配套）
重量：≈28 kg
接口：标准高真空法兰（CF/***）
运行周期：8,000–12,000 小时再生一次
工作环境：洁净室，10–35℃，24/7 连续运行
关键特点
原厂适配：AMAT PVD 设备标配，即插即用，兼容原有控制与制冷链路。
超高真空：4.2K 二级冷头 + 活性炭吸附，有效抽除轻气体，满足薄膜沉积制程要求。
大抽速 + 低背压：快速建真空、维持高洁净度，提升膜层均匀性与良率。
板载紧凑设计：直接集成于腔体侧面，减少管路损耗，节省机柜空间。
闭循环无液氦：无需液氮 / 液氦，运行成本低、安全性高、维护简单。
可靠长寿命：工业级制冷机，抗热冲击，适配半导体 24/7 连续生产。
再生便捷：加热解吸 + 吹扫，现场可完成，停机时间短。
完善保护：过压 / 过流 / 过热 / 低氦压保护，故障自检报警。
SEMI 合规：符合 SEMI S2/S8，适配 Fab 自动化与安全规范。
典型应用
AMAT Endura 300mm PVD（钛、铝、铜、氮化钛等沉积）
高真空溅射腔、离子束 / 电子束制程
需无油、高洁净、超高真空的半导体制程

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)