产品作用:
AMAT 0010-C0376 真空泵产品特点
开头:AMAT 0010-C0376 是半导体设备配套干式真空泵,适配薄膜沉积工艺,真空输出稳定。
干式无油结构,避免油污染晶圆制程
稳定抽速输出,快速达到工艺所需真空度
耐腐蚀腔体,可抽取工艺腐蚀性气体
内置温控散热系统,长时间连续工作不高温
低震动运转,减少设备整机抖动偏差
自带气体过滤组件,阻挡粉尘进入泵体
标准适配 AMAT 原厂镀膜设备,直接替换
电机过载、过压多重安全保护
集成信号反馈接口,可对接设备控制系统
紧凑机身,节省机台内部安装空间
耐磨转子组件,大幅延长整机使用寿命
降噪优化结构,车间运行噪音***
适配多类工艺气体,通用性强
模块化拆装,检修更换步骤简单
工业宽温设计,适应洁净厂房环境结尾:AMAT 0010-C0376 洁净耐用、适配半导体产线,是镀膜设备标配真空部件
瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***(DCS系统)(机器人系统)(大型伺服控制系统)模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC), MOTOROLA MVME工业用模组 ,工业控制通訊转换器(Anybus) ,远端输出/输入模块(RTU) ,工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ,人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)
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