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Daihen AMN-50E6-V射频匹配模块 智能控制器模块 卡件模块

参数
  • 卡件模块产品特性
  • 否是否进口
  • 美国产地
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瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年
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产品详情

产品实拍


产品特色
  • 产品作用:


  • Daihen AMN-50E6-V 射频匹配模块

  • 开头:Daihen AMN-50E6-V 是半导体刻蚀设备专用 60MHz 5kW 自动射频匹配模块,适配 TEL 工艺腔体使用。

  • 支持 60MHz 频段,额定 5kW 大功率输出

  • 快速自动阻抗调节,降低射频反射功率

  • 标准 50Ω 阻抗匹配,等离子起辉稳定

  • 内置精密可调电容,匹配精度高

  • 一体式风冷散热,满载运行不易过热

  • 实时监测正向、反射功率数值

  • 过功率、过温、短路多重防护

  • 数字通讯接口,对接整机控制系统

  • 铜质射频通路,射频损耗***

  • 强电磁屏蔽,适配洁净车间工况

  • 标准机架式安装,拆装检修简单

  • 24 小时不间断量产运行稳定

  • 自带故障自检,异常自动报警记录

  • 原厂程序适配 TEL 系列半导体设备

  • 同型号备件通用,现场替换便捷结尾:Daihen AMN-50E6-V 匹配效***、耐用稳定,是半导体薄膜、刻蚀产线核心射频备件。

企业介绍
企业简介:

 

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***(DCS系统)(机器人系统)(大型伺服控制系统)模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC), MOTOROLA MVME工业用模组 ,工业控制通訊转换器(Anybus) ,远端输出/输入模块(RTU) ,工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ,人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)


售后说明

  • 物流配送

  • 我们使用顺丰快递/德邦快递

  • 付款方式

  • 对公付款,全款到账发货

  • 退换货政策

  • 所有产品享受一年保修期

  • 票据制度

  • 可开具增值税发票


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