Yaskawa XU-ACP130-B11晶圆预对准器 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

Yaskawa XU-ACP130-B11 晶圆预对准器

开头：Yaskawa XU-ACP130-B11 是半导体设备专用晶圆预对准器，完成晶圆位置校正与角度定位。

高精度视觉检测，定位校正误差极小

适配标准尺寸晶圆，通用性较强

高速校正流程，缩短单片处理时长

无尘密封结构，适配洁净车间环境

内置多重限位保护，避免晶圆磕碰破损

伺服驱动传动，运转平稳无抖动

通讯接口齐全，可直接对接设备主控

自带状态自检功能，故障快速提示

宽温稳定运行，支持 7×24 小时连续作业

轻量化紧凑机身，节省机台内部空间

耐磨吸附结构，取放晶圆不易划伤

可视化参数调节，调试操作简单

抗震动整机设计，产线工况耐用度高

原装安川精密配件，长期使用精度稳定

可搭配晶圆传送机械手协同作业结尾：Yaskawa XU-ACP130-B11 晶圆预对准器精准完成晶圆对位工序，保障后续光刻、镀膜工艺正常加工。

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退换货政策

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票据制度

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