DAIHEN MDC-01C-V控制箱 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

DAIHEN MDC-01C-V 控制箱

开头：DAIHEN MDC-01C-V 是大族射频配套 CPI 工艺控制箱，适配 TEL 半导体刻蚀沉积设备，管控射频匹配与腔体工艺参数。

单相 200V 供电，额定 1A 工作电流，供电稳定适配机台工况

闭环调控射频匹配回路，降低反射功率，保障等离子工艺稳定

实时采集电压、驻波等射频运行数据，同步上传整机主控

内置过流、过温、短路多重安全联锁保护，防止腔体损伤

独立信号隔离线路，抵御车间电磁杂波干扰，数据无偏移

金属密闭箱体，防尘抗震，满足无尘车间洁净使用标准

自带故障自检与状态指示灯，异常代码快速定位故障

标准化专用接线端子，插拔牢固，拆装替换无需改线

集成通讯接口，可与设备上位系统联动交互工艺参数

箱体内部优化散热风道，长时间满载运行温升可控

工业宽温元器件，腔体周边高低温环境持续稳定工作

集成滤波电路，抑制射频谐波，避免干扰周边传感器

标准整机安装尺寸，同型号备件可直接互换维修

内部线路分层布局，强弱电分区，降低信号串扰

出厂整机通电老化校准，长期连续作业可靠性高结尾：DAIHEN MDC-01C-V 射频调控稳定、防护完善，是半导体薄膜刻蚀腔体射频系统核心原装备件。

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