Daihen RMN-20E2-V射频匹配器 智能控制器模块 卡件模块 全新

产品作用：

Daihen RMN-20E2-V 射频匹配器

开头：Daihen RMN-20E2-V 半导体专用自动射频匹配器，适配刻蚀、镀膜机台，负责射频阻抗自动调节。

适配 20kW 功率射频电源，标准 13.56MHz 频段

高速自动调谐，快速抵消等离子阻抗波动

大幅降低反射功率，保护射频主机不损坏

内置高精度电容电感调节模组，匹配精度高

金属密封腔体，适配无尘车间洁净工况

自带水冷散热结构，高负载持续工作不升温

数字通讯接口，可与机台主控实时联动

实时采集驻波数据，异常快速报警提示

过温、过流、驻波过高多重安全防护

铜制射频通路，功率传输损耗***

工艺参数断电记忆，重启无需重新标定

标准化对接端口，拆装替换简单省时

抗电磁干扰设计，多射频设备同柜稳定运行

紧凑一体化结构，节省机柜安装空间

原厂原装程序，匹配曲线适配半导体等离子工艺结尾：Daihen RMN-20E2-V 匹配响应快、功率传输稳定，是薄膜、刻蚀设备核心射频备件。