AMAT 0010-19188冷却升降机组件智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
AMAT 0010-19188 冷却升降机组件产品特点
开头：AMAT 0010-19188 是半导体设备专用晶圆冷却升降一体组件，配套伺服电机，控温升降同步完成。
集成博世伺服驱动，升降动作精准平稳
自带水冷冷却结构，快速稳定晶圆温度
陶瓷承载顶针，产尘少，保护晶圆表面
高精度定位，升降重复误差极小
适配标准半导体工艺腔体，直接替换原装件
密封结构适配真空腔体，不漏气
内置温度感应，实时监测冷却状态
升降速度可调，适配不同制程节拍
过载、限位双重机械电气防护
一体式装配模组，拆装维护便捷
低振动运行，避免晶圆偏移破损
耐腐蚀特种材质，适配制程化学环境
小型紧凑结构，节省腔体内安装空间
标准接线接口，对接设备控制系统
工业长寿命配件，降低产线停机频次结尾：AMAT 0010-19188 冷却升降机组件升降冷却一体化，适配薄膜沉积类半导体设备，工艺稳定性高。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)