AMAT 0010-30770真空泵阀智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
AMAT 0010-30770 真空泵阀
开头：AMAT 0010-30770 半导体设备配套真空泵隔离阀，用于腔体与真空泵通断隔离，维持高真空环境。
气动驱动结构，开关动作迅速稳定
高精度密封结构，漏率低，隔绝腔体与泵体
双位置感应反馈，实时上传阀门开闭状态
阀体不锈钢材质，耐受工艺腐蚀气体
洁净抛光处理，产尘量低适配晶圆工艺
断电自锁结构，停机防止真空倒灌污染腔体
耐高低温工况，适配真空泵长期运行温升
标准法兰接口，和 AMAT 设备真空泵直装匹配
内置缓冲结构，启闭无冲击减少密封磨损
氟橡胶耐腐蚀密封件，使用寿命长
集成信号接线端口，直接对接设备主控
抗震内部结构，机台震动不易漏气
拆装结构简单，密封件更换维护便捷
适配刻蚀、沉积设备真空管路系统
出厂真空检漏与百万次循环测试合格结尾：AMAT 0010-30770 密封可靠、隔离稳定，保障腔体真空洁净度，减少工艺污染与停机维修。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业从事全球***（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway)现已成一家全球性的工业自动化备件及零部件的销售企业！

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