AMAT 1350-00681 电容式压力计 智能控制器模块 卡件模块

• 产品作用：

# AMAT 1350-00681 电容式压力计

AMAT 1350-00681 是应用材料晶圆设备专用电容式真空压力传感器，精准监测腔体工艺压力。

1、原厂适配 AMAT 刻蚀、沉积真空机台，安装接口匹配

2、电容薄膜感应原理，测量精度高、温漂小

3、不锈钢洁净接触面，耐受多种工艺腐蚀气体

4、内置温度补偿电路，长时间测量数值稳定

5、标准模拟电压信号输出，直连设备主控系统

6、过载压力防护结构，泄压冲击不易损坏膜片

7、KF 标准真空法兰，无尘腔体拆装密封可靠

8、低延迟压力反馈，满足工艺实时联锁控制

9、整机无挥发材质，符合半导体洁净车间标准

10、小型一体化结构，机柜腔体安装节省空间

11、内部 EMI 屏蔽，抵御射频电磁干扰无乱码

12、24V 直流标准供电，适配机台通用电源回路

13、抗震加固内部元件，产线持续运行稳定

14、可单独校准，维护无需整机拆卸更换

15、自带故障自检，异常信号快速反馈告警

综上，AMAT 1350-00681 电容式压力计测量精准、耐腐蚀洁净，是半导体真空腔体压力监测核心配件。

• 物流配送

• 我们使用顺丰快递/德邦快递

• 付款方式

• 对公付款，全款到账发货

• 退换货政策

• 所有产品享受一年保修期

• 票据制度

• 可开具增值税发票