Edwards NRY0G9000XS 真空泵 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

Edwards NRY0G9000XS 干式真空泵

1、Edwards NRY0G9000XS 无油干式真空泵

2、无油结构，避免工艺腔体油污染

3、配置气镇功能，可抽除水汽可凝气体

4、抽速大，快速建立粗真空

5、内置颗粒过滤，阻挡粉尘进入泵体

6、RS485 通讯，支持远程监控

7、过温过载保护，故障可告警

8、风冷散热，适合长期连续运行

9、密封结构好，防止气体回流

10、运行噪音低，振动小

11、机身紧凑，方便设备集成

12、维护简便，便于现场检修

13、功耗低，节约使用成本

14、适配腐蚀性工艺气体

15、Edwards NRY0G9000XS 用作涡轮泵前级泵

Edwards NRY0G9000XS 干式真空泵，半导体真空系统前级泵，用于工艺腔体粗真空抽取

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退换货政策

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票据制度

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