AMAT 0190-13851 旋转联合溅射机 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

AMAT 0190‑13851 旋转联合溅射机

1、半导体晶圆磁控溅射镀膜工艺设备

2、带旋转基片台，保障薄膜成膜均匀度

3、多靶共溅射结构，支持多层薄膜制备

4、高真空腔体设计，满足溅射工艺环境

5、腔体耐等离子腐蚀，适合长期工艺运行

6、精准气体流量控制，调节工艺气氛

7、旋转转速可调，适配不同规格晶圆

8、配套射频 / 直流溅射电源，适配各类靶材

9、内置传感器，实时采集腔体压力温度

10、腔体密封可靠，降低漏气颗粒污染

11、模块化结构，便于腔体维护保养

12、支持多种金属、介质材料溅射成膜

13、工艺参数可存储，保障批次一致性

14、具备硬件互锁，保障设备运行安全

15、适配半导体金属化、钝化膜沉积工序

AMAT 0190‑13851 旋转联合溅射机，用于半导体晶圆真空溅射薄膜制备。

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