Edwards NRB446945 干式真空泵 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

Edwards NRB446945 干式真空泵

1、全干式无油结构，输出洁净真空环境

2、适配分子泵前级预抽，快速建立腔体粗真空

3、具备气镇处理能力，可抽吸含水汽工艺气体

4、低振动输出，降低对半导体精密设备干扰

5、整机紧凑，节约设备内部安装空间

6、风冷散热，支持长时间不间断连续运行

7、进气内置过滤组件，阻挡颗粒杂质进入泵体

8、内置防回吸阀，停机防止腔体反向污染

9、自带状态监测接口，支持上位远程监控

10、运行噪音低，改善车间作业环境

11、耐腐蚀腔体，适配部分腐蚀性工艺气体

12、拆装简单，现场维护更换零部件便捷

13、功耗控制优异，长期使用运行成本低

14、支持多安装姿态，适配设备内部布局

15、多用于半导体、镀膜真空工艺配套

Edwards NRB446945 干式真空泵，作为前级抽气单元，为分子泵系统提供稳定洁净粗真空条件