AE 31512411-362 直流电源模块 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

AE 31512411‑362 直流电源模块

1、Pinnacle III 系列大功率直流等离子电源单元

2、三相 480V 交流输入，输出功率等级高

3、支持恒压、恒流双模式闭环控制

4、输出纹波低，功率输出稳定性优异

5、适配动态腔体负载，阻抗自适应调节

6、内置过压、过流、过热、短路保护

7、自带故障自诊断，输出对应故障代码

8、支持以太网通讯，上位机读写工艺参数

9、标准机架式机柜安装，适配设备控制柜

10、风冷散热结构，支持产线长时间连续运行

11、具备软启动功能，抑制上电冲击电流

12、参数可软件配置，适配多套工艺配方

13、电磁兼容性能好，适配半导体洁净车间

14、支持多机并联，实现功率扩容

15、多用于 PVD 溅射、偏置、离子注入工艺

AE 31512411‑362 直流电源模块，半导体工艺大功率直流供电设备，为等离子腔体提供稳定功率输出

物流配送

我们使用顺丰快递/德邦快递

付款方式

对公付款，全款到账发货

退换货政策

所有产品享受一年保修期

票据制度

可开具增值税发票