Kashiyama MU100U-148 干式真空泵 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

Kashiyama MU100U‑148 干式真空泵

1、多级罗茨干式结构，无油输出洁净粗真空

2、抽速稳定，用作分子泵配套前级泵

3、水冷散热，支持产线 24 小时长时间连续运行

4、配置氮气吹扫接口，抑制工艺气体腐蚀结垢

5、振动水平低，降低对精密机台的扰动

6、内置防回吸阀，停机防止腔体反向污染

7、三相工业供电，适配半导体设备供电规范

8、整机结构紧凑，节省设备内部安装空间

9、内置进气过滤，阻挡颗粒进入泵腔内部

10、支持远程通讯，可监控泵运行状态与报警

11、腔体耐腐蚀，适配部分轻微腐蚀性工艺气体

12、法兰接口标准化，方便管路对接装配

13、故障自诊断功能，输出故障代码便于检修

14、模块化组件，现场备件拆装维护便捷

15、适配刻蚀、PVD、离子注入真空机组

Kashiyama MU100U‑148 干式真空泵，樫山工业干泵，为分子泵机组提供稳定可靠前级真空条件

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