Ebara E100-R23JRS 纯水输送喷射泵模块智能控制器模块卡件模块

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Ebara E100‑R23JRS 纯水输送喷射泵模块，荏原半导体超纯水输送单元，给机台供应工艺纯水，水压流量稳不稳直接影响晶圆清洗效果。
产品特点
1、接液部件耐腐蚀，低析出，不会污染超纯水水质，满足半导体用水要求
2、喷射式结构，自吸能力好，不容易发生气堵断流，保障供水连续性
3、内置压力流量监测，异常状态可以输出告警，方便工程师提前发现隐患
4、运行震动小，减少管路抖动，降低管路颗粒脱落风险
5、模块化集成总成，管路接口标准化，现场拆装维护比较省事
产品参数
1、适配半导体超纯水介质输送
2、自带压力检测反馈，对接设备控制系统
3、可长时间连续运行，适配产线 24 小时生产
4、标准管路接口，方便接入纯水回路
5、适配车间设备间运行环境，支持备件直接替换
应用领域
1、半导体设备晶圆清洗工位纯水供给
2、机台超纯水循环输送系统
3、湿法工艺设备供水单元
4、工厂纯水分配管路增压模块
5、产线故障泵体备件更换
Ebara E100‑R23JRS 纯水输送喷射泵模块一旦出现流量衰减、水质析出，很容易造成清洗不良，带来晶圆表面颗粒缺陷。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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