AE 3150017-026 射频发生器 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

AE 3150017-026 射频发生器，属于 RF30S 系列固态射频电源，为半导体等离子工艺提供稳定射频能量。

产品特点：

1. 功率闭环调控，等离子状态波动小，批次工艺一致性好

2. 内置电弧抑制功能，快速灭弧，减少晶圆表面损伤

3. 小型机架式机身，机柜内部安装布局灵活

4. 支持远程信号读写，方便机台集成监控

5. 内置多重保护机制，负载异常自动切断射频输出

产品参数：

6. 型号：3150017-026

7. 射频类型：RF30S 固态射频发生器

8. 额定输出功率：3000W

9. 工作频率：13.56MHz

10. 散热方式：风冷散热

应用领域：

11. 半导体 PVD 溅射镀膜等离子供电

12. CVD 薄膜沉积设备射频源

13. 晶圆等离子刻蚀工艺

14. 平板显示镀膜工艺

15. 半导体产线射频电源备件替换

等离子镀膜设备故障更换，AE 3150017-026 射频发生器适配原有设备回路。

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