Leybold 800051V0121 涡轮分子真空泵是莱宝***高真空分子泵,在半导体真空腔体里应用很广
1. 无油抽气设计,不会产生油气污染,保障腔体内部洁净度
2. 转子动平衡精度高,运行振动小,不会干扰精密制程
3. 自带保护气接口,通入氮气可以防护腐蚀性工艺气体
4. 启停速度快,能快速拉到目标高真空,缩短机台等待时间
5. 配套驱动通讯接口齐全,方便接入设备主控做状态监控
1. 型号 800051V0121,Leybold 原厂涡轮分子泵
2. 采用混合轴承结构,兼顾稳定性与使用寿命
3. 可实现高真空区间抽气,满足半导体工艺真空要求
4. 支持多方位安装,适配不同设备内部布局
5. 自带转速、温度、故障信号实时反馈功能
这款分子泵多用于需要洁净高真空的设备场景
1. 半导体刻蚀机真空腔体抽气
2. 真空镀膜设备高真空获取
3. 表面分析仪器真空系统
4. 旧款真空设备备件更换维修
5. 等离子工艺腔体真空维持
总的来说 Leybold 800051V0121 这款分子泵稳定性强,是真空设备维修替换很热门的莱宝备件