Kawasaki 3NS004S-C001 晶圆对准器 卡件模块 智能控制器模块 全新

产品作用：

Kawasaki 3NS004S-C001 晶圆对准器是 300mm 晶圆预对准单元，用于无尘车间晶圆定位

1. 高速完成晶圆缺口定位，对准耗时短

2. 定位精度高，保障机械手搬运一致性

3. 洁净室专用结构，低颗粒产生

4. 伺服驱动运转平稳，减少晶圆划伤风险

5. 自带通讯接口，可对接机械手控制器

1. 型号 3NS004S-C001，川崎晶圆预对准器

2. 适配 300mm 硅片

3. 伺服旋转定位结构

4. 支持晶圆缺口与边缘检测

5. 洁净室专用低尘设计

适用场景

1.300mm 晶圆传送 EFEM 单元

2. 半导体量测设备晶圆预定位

3. 晶圆机械手配套定位组件

4. 光学检测设备上料对准

5. 半导体设备备件替换维修

总的来说 Kawasaki 3NS004S-C001 是 300mm 机台常用预对准备件，晶圆传输系统维修常备

物流配送

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付款方式

对公付款，全款到账发货

退换货政策

所有产品享受一年保修期

票据制度

可开具增值税发票