HRX-604AH 网络加热器控制器 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

做小松半导体设备维护的同行大多熟悉 Komatsu HRX-604AH 网络加热器控制器，这款是 Komatsu 半导体热处理设备温控主控单元，负责多路加热回路闭环控温，通过网络和机台主控通讯，管控工艺加热模组。

产品特点

1. 多通道独立控温，各组加热器温度单独调节，工艺温度一致性好

2. 网络通讯稳定，可和上位机实时交互温度设定值、采集测温数据

3. 内置多种保护，超温、断线、加热器短路都会触发报警停机

4. 抗粉尘抗静电设计，适配半导体洁净车间工况

5. 原装接口匹配，现场拆装替换简单，减少产线停机时间

产品参数

1. 适配 Komatsu 热处理 / 烘烤工艺设备

2. 支持多路 PT100 温度信号采集

3. 通讯方式：工业网络 + 模拟信号

4. 供电 AC100~240V 宽电压输入

5. 工作环境 5℃~40℃，无尘车间适用

应用领域

1.Komatsu 半导体烘烤设备加热器集中管控

2. 晶圆热处理工艺温度闭环控制

3. 光刻后烘烤单元加热回路调节

4. 薄膜工艺配套加热模组监控

5.Komatsu 热处理设备控制器备件维修更换

总的来说 Komatsu HRX-604AH 网络加热器控制器多路温控能力强，支持网络远程监控，热处理单元温控故障替换经常选用。

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退换货政策

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票据制度

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