RX-610-T1-R 化学循环器控制器 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

# Komatsu RX-610-T1-R 化学循环器控制器

产品特点：

1. 搭载 PID 自动调温算法，药液温度控制精度高，波动很小

2. 自带故障自诊断功能，异常时触发报警并切断输出，保护管路腔体

3. 支持 RS232 通讯接口，可对接机台上位机实现远程启停与参数读取

4. 耐腐蚀面板设计，适配半导体车间酸碱药液环境，抗化学气体侵蚀

5. 整机结构紧凑，拆装维护方便，替换 EX-410 循环机组无需大改线路

产品参数：

1. 物料型号：RX-610-T1-R

2. 控温精度：±0.1℃

3. 测温元件：Pt100 铂电阻

4. 通讯接口：RS-232C

5. 适配设备：Komatsu Kelk EX-410 化学循环器

应用领域：

1. 半导体晶圆湿法清洗药液恒温循环控制

2. 刻蚀工艺配套化学药液温度调节系统

3. 晶圆表面处理槽液流量与温度联动管控

4. 精密湿法工艺腔体化学介质恒温供给

5. 老款 200mm 半导体产线循环温控备件替换

这款 Komatsu RX-610-T1-R 控制器是湿法清洗循环机组的核心控制单元，稳定把控药液温度，保障晶圆工艺一致性，备件更换核对型号即可快速上线。

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