TEL 5085-408084-11 冷热板 智能控制器模块 卡件模块

产品作用：

TEL 5085-408084-11 冷热板

产品特点：

1. 内置流道结构，可快速升降温，精准控制晶圆表面温度

2. 板面平整度高，和晶圆贴合均匀，***整片晶圆工艺一致性

3. 集成温度传感探头，实时反馈板体温度，方便机台闭环调控

4. 表面做耐腐蚀处理，能耐受工艺气体侵蚀，使用寿命***

5. 标准化安装接口，现场更换简单，无需改动机台原有管路

产品参数：

1. 物料型号：5085-408084-11

2. 控温方式：流体循环冷热切换

3. 承载规格：适配 8 寸晶圆

4. 温度传感器：内置 Pt100 测温

5. 适配设备：TEL 刻蚀半导体工艺机台

应用领域：

1. 半导体干法刻蚀晶圆基底温度控制

2. 等离子体工艺晶圆恒温承载

3. 薄膜刻蚀工艺中晶圆快速升温降温

4. 晶圆刻蚀工艺均匀性管控

5.TEL 机台晶圆台冷热板备件替换维护

这款 TEL 5085-408084-11 冷热板是刻蚀机台晶圆承载核心件，依靠流体循环实现精准控温，稳定晶圆加工环境，核对型号就能直接替换上机。

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退换货政策

所有产品享受一年保修期

票据制度

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