TEL 2L80-001716-11加热器控制器箱 智能控制器模块

产品作用：

TEL 2L80-001716-11 是 Tokyo Electron（TEL）设备上用的一个加热器控制器箱，属于温控单元，负责给工艺腔体或管路做加热控制。

它有哪些特点

TEL 原厂配套件，专为 TEL 半导体设备设计

加热器控制器箱，内部集成加热控制电路

负责一路或多路加热器的温度调节

配合温度传感器做闭环控制，温度稳

控温精度高，满足半导体工艺的严格要求

模块化箱体结构，方便机架安装和更换

工业级设计，能长时间连续运行

市面有流通，二手和库存件都能找到

通常用在 TEL 的 CVD、蚀刻或扩散设备上

属于设备温控系统里的关键部件

都用在哪些地方

TEL 半导体制造设备

等离子增强化学气相沉积工艺

蚀刻工艺的腔体和管路加热

扩散炉和热处理设备

其他需要精准温控的真空工艺场景

总的来说，TEL 2L80-001716-11 就是 TEL 设备里管加热的控制器箱，负责把工艺腔体或管路的温度稳住，是半导体制造中温控环节的一个关键部件。

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