Brooks GF125C-207009质量流量控制器卡件模块智能控制器

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：
Brooks GF125C-207009 是 Brooks GF125 系列中的一款金属密封热式质量流量控制器，核心特点是压力瞬态不敏感（PTI），用于在压力波动工况下保持稳定的气体流量控制。
产品特点
压力瞬态不敏感（PTI），上游压力波动时流量偏差控制在设定值的 5% 以内
MultiFlo 多气体多量程，一台设备可编程支持多种气体和量程组合
响应快，稳定时间 300–700ms，适合短周期工艺
全金属密封流路，Hastelloy 传感器耐腐蚀
内置自诊断，可检测传感器漂移和阀门泄漏
产品参数
满量程范围：3 sccm – 55 slm（N₂ 等效）
精度：>35–*** 量程为设定值 ±1%；2–35% 量程为满量程 ±0.35%
工作温度：10–50°C，工作压力 100 psia
产品应用领域
半导体刻蚀设备
薄膜 CVD/MOCVD/PECVD 系统
原子层沉积（ALD）
PVD 系统
外延工艺设备
***去胶/剥离工艺
离子注入
光伏与 LED 制造
高纯度气体分配系统
科研实验室气体流量控制
综上，GF125C-207009 是面向半导体高纯度气体控制的 PTI 型 MFC

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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