Azbil SPG0ZT13RZS000RL 电容隔膜真空计卡件模块智能控制器

¥1.25万 1 - 99个
¥1.23万 ≥100个

卡件模块产品特性
否是否进口
美国产地

发货地江西瑞昌市 30天内发货供货总量100个

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产品作用：

Azbil SPG0ZT13RZS000RL 电容隔膜真空计

产品应用领域（10 条）

半导体制造设备中的高精度压力控制
真空炉高温热处理工艺的压力监测
真空泵极限真空度与抽速特性评估
冷冻干燥设备的真空度监控
原子层沉积工艺的压力控制
溅射与蒸发镀膜腔体压力稳定
真空互锁与安全联锁保护
卤素等腐蚀性气体环境的真空测量
高温真空工艺防凝结监测
真空量值的校准与标准传递

产品参数（3 条）

测量原理与精度：静电容式隔膜原理，单晶蓝宝石受压部，标准精度 ±0.25% Reading（自加热≥160°C 时为 ±0.5% Reading）
压力范围与耐压：覆盖 0-20 Pa 至 0-133.32 kPa abs 多量程，允许压力 110～200 kPa abs，爆破压力 700 kPa abs
输出与电气规格：输出 DC 0～10 V（负载 10kΩ 以上），供电 ±15 Vdc 或 24 Vdc，响应速度典型 35 ms，接气部材质含蓝宝石、因科镍合金及 SUS316L

总结：Azbil SPG0ZT13RZS000RL 电容隔膜真空计兼具蓝宝石隔膜的耐腐蚀性与静电容原理的高精度，适用于半导体、真空炉、镀膜及冻干等真空测量场景。

企业简介：

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业（DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway

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