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德国 *** Diener 派瑞林涂层 Parylene 设备P6

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旭阿科技(上海)有限公司
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Parylene涂层设备 P6

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料,根据

分子结构的不同,Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积,聚合而成的薄膜有着***的性能。

                

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀,对产品***

l  所形成的涂层具有***的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层,防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好



主要技术参数:

 

1.     全自动控制

 

2.     涂层材料:聚对二甲苯,聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯

 

3.     涂层厚度:0.0550μm

 

4.     热解:5KW 温度 700

 

5.     进气含均匀分散系统

 

6.     冷却:液氮***可达﹣100

 

7.     极限压力:1×10-3mbar ,配有两个皮拉尼传感器

 

8.     涂层腔体尺寸,Ø200 mm*L200mm,容积约6.28L

 

9.     旋转架尺寸:Ø170mm*L170mm

 

10.  真空泵系统:双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝 D16B

 

11.  连接件:25mm真空管,泵与主机连接件,6 bars 干燥无油的空气

 

12.  外尺寸:W700*D500*H700mm

 

13.  电源电压:400V/16A/50-60Hz

 


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