HONDA本多石英振动体类型超声波清洗机W-357-1MQG-SKC AC100V

¥2.3万 1 - 4台
¥2.26万 ≥5台

参数

低损伤产品特性
否是否进口
日本产地

发货地河南郑州 60天内发货供货总量200台

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产品详情

HONDA本多石英振动体类型超声波清洗机W-357-1MQG-SKC AC100V

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。
清洁度高，对半导体晶圆的损害最小。
与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。
震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。

用途

胶体残留物的清除
封边和灰化后的聚合物清除
栅电极极清洗
CMP后的清洗

类型	W-357-1MQG-SKC
振荡模式	单频震荡
额定输出	12W
标称震荡频率	1MHz
电源输入	AC100V～240V 单相50/60Hz 300VA
外部尺寸 WxDxHmm	180×250×100　（不包括凸出部分，包括橡胶脚）
质量	2.2kg

可变的输出范围：0W到12W（振动体的允许输入：当使用空气吹扫冷却时，连续10W）。
●周围操作环境：温度：15至35℃，湿度：10至85%。
●外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：12 V DC 16 mA min.
　报警输出（主单元）触点容量：24 V DC 0.5 A
■附属电缆：电源线（100V为2米/200V为3米），控制线（5米）x4

■振动体